resistencia de la lámina de metales

[Hegde Dinesh]

Hola,
¿Por qué resistencia de la lámina de matsl varía a medida que aumenta el ancho de metal.(Según la teoría de resistencia de la lámina debe permanecer constante).
Las razones que se me ocurrió,
1.Las variaciones de espesor a causa de CMP.
2.Factor de reducción de ancho puede ser diferente para distintos anchos de los metales.

Recuerdos,
Dinesh

 

[erikl]

Creo que tu 2.el tema es correcta: Pero no la "diferencia" del "factor de reducción" (que incluye en el grabado, los errores de resolución óptica y otros procesos dependientes de las desviaciones), pero su contribución constante, lo que crea por la presente el ancho de la dependencia.

Para tamaños de estructura muy pequeña, también depende de la anchura relativa (contando negativamente) de la no realización de la piel de óxido (Al2O3 en Al) puede contribuir a este efecto (ancho de la dependencia, debido a la relativamente diferente "contribución" de la parte oxidada paredes).

 

[Hegde Dinesh]

Lo sentimos, no podía comprender el punto segundo.Por favor explique más.

 

[erikl]

Hegde Dinesh escribió:

Lo sentimos, no podía comprender el punto segundo.
Por favor explique más.

 

[sandeep_torgal]

Dinesh,
Creo que es debido a la CMP (pulido químico-mecánica).Las líneas de cobre sufren sirviendo y erosión debido a la CMP.De ahí la resistencia de la lámina varía.Déjame saber si está aún poco claro.

Recuerdos,
Sandeep

 

[Hegde Dinesh]

Me siento tanto de los puntos de contribuir para ello.Gracias.

Recuerdos,
Dinesh